2023年2月8日

2023年1月26日、株式会社アントンパール・ジャパン様にご協力いただき、「スラリー評価技術と湿式成膜プロセスにおける計算科学の活用」をテーマに分科会を開催しました。まず初めに、事務局より10/11~13に開催される“国際粉体工業展大阪2023（POWTEX2023）”の案内を行った後に、正コーディネータの九州工業大・山村先生より開会挨拶を行いました。続いて粉体のプロセスインフォマティクスに関する講演を東京大学・長藤先生に、塗布流動シミュレーションに関する講演をMPM数値解析センター株式会社・安原様に、またレオロジー測定および特性評価に関して㈱アントンパールジャパン・宮本様講演して頂いた後に、株式会社アントンパールジャパンに移動し、ショールーム見学を行いました。講講演概要を以下に示します。
 

1) 「データ駆動型粉体成膜プロセス開発の最前線」
東京大学大学院工学研究科機械工学専攻　長藤圭介先生(【講演①写真】参照)

粉体プロセスは現象メカニズムが複雑で、プロセス設計と工程作業の擦り合わせに依存する部分が多いため、いまだに日本の強みを発揮できる分野ではあるが、さらなるハイスループット化を実現するための手法として、プロセス中の複雑な物理現象を特徴づける「中間データ」を用いて、効率的な機械学習システムを作り上げるデータ駆動型「粉体プロセス・インフォマティクス」が紹介された。講演の前半では、国内外の自立探索手法による材料開発の事例紹介があり、後半では粉体成膜プロセスにおいて、最適な乾燥パラメータを探索した例を示すとともに、他分野でも適用できる汎用性の高い手法であることが示された。
 
2) 「微粒子を含む濃厚塗液の塗布流動シミュレーション」
MPM数値解析センター株式会社　　安原 賢氏 (【講演②写真】参照)
微粒子の積層プロセスであるウェットコーティング(塗布)に関して、コンピュータシミュレーションによる可視化および挙動解析が紹介された。講演の前半では、スロット塗布ビードのVolume Of Fruction method(VOF)解析を例に用いて、各種流体解析ソフトの比較検証やスーパーコンピュータによる計算速度の向上に関する説明があり、後半では微粒子挙動まで考慮した粒子連成拡張(DEMおよびMP-PIC)による計算例や塗布条件によって粒子分布に不均一性を生じる可能性があることが示された。
 
3) 「レオロジー測定によるスラリーの塗布、成膜特性の評価」
株式会社アントンパール・ジャパン　ビジネスユニットキャラクタリゼーション　マネージャー　宮本圭介氏 (【講演③写真】参照)
物質の粘弾性に関して、前半ではシリコンパテを用いて変形・流動の変化を実演で示しながら、レオメータによる粘弾性評価の基礎的な説明があった。後半では塗料のレオメータ測定とスラリーの塗布・成膜特性との相関について紹介があり、塗布工程において粘弾性測定が重要であることが示された。
 
4) 株式会社アントンパール・ジャパン　ショールーム見学(【見学写真】参照)
㈱アントンパール・ジャパン東京本社・ショールームにおいて、粉体やスラリーの各種評価装置の説明・見学を行った。
 
4．閉会挨拶
粒子積層技術分科会・瀬戸副コーディネータより閉会の挨拶(【閉会写真】)を行った。
 

開催案内は、こちらよりご確認いただけます。