クリーン化分科会 報告

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平成28年7月25日、産業技術総合研究所 つくばセンター中央にて、「産業技術総合研究所の施設見学と講演会」を開催しました。施設見学先は、産業技術総合研究所の計量標準総合センター 物質計測標準研究部門 粒子計測研究グループです。
報告事項
1)「産業技術総合研究所の紹介」
産業技術総合研究所の業務内容、施設規模などについて桜井研究グループ長より紹介いただいた。

2)「液中粒子数濃度計測技術の開発と国家標準の確立」 産業技術総合研究所 坂口 孝幸 様
・液中粒子数濃度標準と校正技術要素
・校正原理
・サンプリングによるばらつき評価
・資料液中粒子全数計測
・SIトレーサビリティー、妥当性評価 などについて坂口様より講演いただいた。

3)「マイクロ粒径域に対応できる光散乱式気中パーティクルカウンタの校正サービス」産業技術総合研究所 飯田 健次郎 様
・OPCの粒子検出効率、発生器法による検出効率
・IAG発生粒子の分布幅、発生可能な粒径、発生効率、PSL光散乱相当径
・産総研での機中OPCの校正サービス内容
・マイクロメートル粒径域での校正結果の例 について飯田様より講演いただいた。

4)「微生物粒子の迅速測定法」 リオン株式会社  水上 敬 様
・新たな生物粒子検出方法
・生物粒子計数器のセンサ構造概念
・生物粒子の判定方法(散乱口信号と蛍光信号)
・粒子径判定方法(光散乱相当径)と測定事例、利用分野 について水上様より講演いただいた。

5)「ミニマルファブにおける局所クリーン化」産業技術総合研究所 原 志朗 様
・メガファブとミニマルファブ
・ミニマルファブの創造する産業構造
・標準化のポイント(装置サイズ、ウェハ、容器、UI,制御装置)
・ファブに必要な要素技術
・ミニマル・局所クリーン化生産システム、開発ロードマップ について原様より講演いただいた。

6)・ミニマルファブモデルルームでの実機見学、製造工程の実演見学
・粒子計測研究グループの研究室見学

以上
カテゴリー: 活動報告, クリーン化分科会